近日，國內(nèi)某頭部半導(dǎo)體企業(yè)與廣東皓天檢測儀器有限公司達成戰(zhàn)略合作，正式引入廣皓天研發(fā)的高精度高頻電磁振動臺，用于半導(dǎo)體核心設(shè)備的可靠性測試環(huán)節(jié)。此次合作不僅該企業(yè)在振動測試領(lǐng)域的設(shè)備空白，更標(biāo)志著國產(chǎn)高頻電磁振動臺在半導(dǎo)體核心測試場景的應(yīng)用實現(xiàn)重大突破，為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控再添關(guān)鍵裝備支撐。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，光刻機、刻蝕機等核心設(shè)備的精密部件對振動極為敏感，哪怕微米級的振動偏差，都可能導(dǎo)致芯片制造良率大幅下降。此前，該頭部半導(dǎo)體企業(yè)長期依賴進口振動測試設(shè)備，但進口設(shè)備存在適配性不足、維護成本高、響應(yīng)周期長等問題，難以滿足企業(yè)對核心設(shè)備高頻振動測試的精細化需求。經(jīng)過多輪技術(shù)驗證與對比測試，廣皓天高頻電磁振動臺憑借精度與穩(wěn)定性，最終成為其合作。

此次引入的高精度高頻電磁振動臺，是廣皓天針對半導(dǎo)體行業(yè)需求定制的升級款產(chǎn)品，具備三大核心優(yōu)勢：其一，頻率響應(yīng)范圍拓展至 0.1Hz-8000Hz，在 3000Hz-6000Hz 高頻區(qū)間，正弦波失真度控制在 0.15% 以內(nèi)，遠超行業(yè)平均水平，可精準(zhǔn)模擬半導(dǎo)體設(shè)備運行時的高頻振動工況；其二，采用自研的 “納米級位移傳感系統(tǒng)"，振動位移控制精度達 ±0.0005mm，能實時捕捉核心部件的微小振動變化，為設(shè)備性能優(yōu)化提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐；其三，搭載 “多參數(shù)協(xié)同控制平臺"，可同步整合振動、溫度、濕度等測試條件，復(fù)現(xiàn)半導(dǎo)體潔凈車間的復(fù)雜環(huán)境，實現(xiàn)一站式綜合測試，測試效率較傳統(tǒng)設(shè)備提升 60%。